本发明公开了一种硫酸滤芯润湿工艺，包括清除残水、安装滤芯、配置滤芯润湿溶液、滤芯润湿、冲洗、后处理、取样检测、小试工序。
本发明提供的硫酸滤芯润湿工艺，在滤芯润湿工序中对残留润湿溶液进行检测后再进行纯水冲洗，保证滤芯内无润湿溶液残留，避免残留润湿溶液对硫酸产品的污染；将滤芯内的纯水排空，然后采用氮气吹扫滤芯至肉眼观察无液滴流出，减少后续对滤芯内残留纯水处理的压力，后续再通过梯度浓度的硫酸溶液对滤芯进行循环浸泡、冲洗处理，使滤芯内残存纯水先与低浓度硫酸溶液进行反应再与高浓度硫酸溶液进行反应，降低反应的剧烈程度，避免一次反应产生巨大的热量，导致滤膜形变孔径增大，从而降低滤芯拦截小颗粒的过滤能力。

浦陈龙 朱永刚 顾玲燕 丁磊 周锡军 坎勇

江阴江化微电子材料股份有限公司

214400 江苏省无锡市江阴市周庄镇长寿云顾路581号

本发明公开了一种硫酸滤芯润湿工艺，包括清除残水、安装滤芯、配置滤芯润湿溶液、滤芯润湿、冲洗、后处理、取样检测、小试工序。
本发明提供的硫酸滤芯润湿工艺，在滤芯润湿工序中对残留润湿溶液进行检测后再进行纯水冲洗，保证滤芯内无润湿溶液残留，避免残留润湿溶液对硫酸产品的污染；将滤芯内的纯水排空，然后采用氮气吹扫滤芯至肉眼观察无液滴流出，减少后续对滤芯内残留纯水处理的压力，后续再通过梯度浓度的硫酸溶液对滤芯进行循环浸泡、冲洗处理，使滤芯内残存纯水先与低浓度硫酸溶液进行反应再与高浓度硫酸溶液进行反应，降低反应的剧烈程度，避免一次反应产生巨大的热量，导致滤膜形变孔径增大，从而降低滤芯拦截小颗粒的过滤能力。