本实用新型实施例涉及一种冷阱装置及扩散炉设备，包括：外壳体，所述外壳体包括第一进气口和第一出气口；内壳体，所述内壳体位于所述外壳体内，且所述内壳体相对于所述外壳体可拆卸，所述内壳体包括第二进气口和第二出气口，所述第二进气口与所述第一进气口相贯通，所述第二出气口与所述第一出气口相贯通；冷却管路，所述冷却管路位于所述内壳体内。
本实用新型能够缩短冷阱装置保养耗时，提高机台产能。

不公告发明人

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本实用新型实施例涉及一种冷阱装置及扩散炉设备，包括：外壳体，所述外壳体包括第一进气口和第一出气口；内壳体，所述内壳体位于所述外壳体内，且所述内壳体相对于所述外壳体可拆卸，所述内壳体包括第二进气口和第二出气口，所述第二进气口与所述第一进气口相贯通，所述第二出气口与所述第一出气口相贯通；冷却管路，所述冷却管路位于所述内壳体内。
本实用新型能够缩短冷阱装置保养耗时，提高机台产能。