提供一种四烷基铵(TAA)盐水溶液的制造方法,其向填充有阳离子交换树脂的填充塔中通入含有氢氧化TAA的显影废液,使TAA离子吸附于该树脂,接着使树脂与酸接触,将被树脂吸附的TAA离子洗脱,获得高浓度的TAA盐水溶液,此时,可有效地制造高浓度的TAA盐水溶液而不会使该显影废液中的TAA离子泄漏。
采用如下技术方案:形成由多个填充塔构成的填充塔生产线,使该填充塔生产线的塔数n为规定数量以上,即使使TAA离子吸附于最上流的填充塔生产线直至达到目标吸附率,TAA离子也不会从最下游的填充塔生产线泄漏。
梅津直幸 山下喜文 平浩昭
株式会社德山
日本山口县
提供一种四烷基铵(TAA)盐水溶液的制造方法,其向填充有阳离子交换树脂的填充塔中通入含有氢氧化TAA的显影废液,使TAA离子吸附于该树脂,接着使树脂与酸接触,将被树脂吸附的TAA离子洗脱,获得高浓度的TAA盐水溶液,此时,可有效地制造高浓度的TAA盐水溶液而不会使该显影废液中的TAA离子泄漏。
采用如下技术方案:形成由多个填充塔构成的填充塔生产线,使该填充塔生产线的塔数n为规定数量以上,即使使TAA离子吸附于最上流的填充塔生产线直至达到目标吸附率,TAA离子也不会从最下游的填充塔生产线泄漏。