本发明公开了一种提高刷片机湿法清洗后干燥能力的装置及方法，刷片机具有湿法清洗晶圆的工作腔，工作腔安装有异丙醇喷头，所述异丙醇喷头通过一异丙醇传输管道与异丙醇提供源相连接，且所述工作腔通过一气流管道与一抽真空装置相连接。
本发明还公开干燥方法。
本发明在清洗后的晶圆表面喷洒异丙醇，可以有效地增大晶圆表面的表面张力，增强去除晶圆表面的水的能力，减少缺陷的产生并加速晶圆的干燥；在干燥过程中利用抽真空装置吸取工作腔内的气体形成真空环境，从而加速晶圆表面的水分和异丙醇的挥发，进一步提高晶圆的干燥速率，且简单实用，运行成本低，能有效改善晶圆的干燥效率，改良清洗制程工艺，同时提升清洗机台的产能。

雷海波 杭明光

上海华力集成电路制造有限公司

201315 上海市浦东新区中国（上海）自由贸易试验区康桥东路298号1幢1060室

本发明公开了一种提高刷片机湿法清洗后干燥能力的装置及方法，刷片机具有湿法清洗晶圆的工作腔，工作腔安装有异丙醇喷头，所述异丙醇喷头通过一异丙醇传输管道与异丙醇提供源相连接，且所述工作腔通过一气流管道与一抽真空装置相连接。
本发明还公开干燥方法。
本发明在清洗后的晶圆表面喷洒异丙醇，可以有效地增大晶圆表面的表面张力，增强去除晶圆表面的水的能力，减少缺陷的产生并加速晶圆的干燥；在干燥过程中利用抽真空装置吸取工作腔内的气体形成真空环境，从而加速晶圆表面的水分和异丙醇的挥发，进一步提高晶圆的干燥速率，且简单实用，运行成本低，能有效改善晶圆的干燥效率，改良清洗制程工艺，同时提升清洗机台的产能。