本发明提供干式清洗装置，其能够简单且有效地对集尘部的过滤器进行清扫。
干式清洗装置具备：清洗槽，其具有，在清洗槽内收纳有清洗介质，清洗对象以覆盖开口的方式配置；气体供给部，其经由第一流路向清洗槽内供给所述气体；集尘部，从清洗槽排出的含有污垢的废气被排出到集尘部，并由配置在集尘部内的过滤器过滤；在集尘部中还设置有向过滤器喷射气体以清扫过滤器的清扫部，清扫部经由与第一流路并行的第二流路与气体供给部连通。

吉野悟志 郭昊

理光高科技(深圳)有限公司 雷欧电子株式会社

518103 广东省深圳市宝安区福永街道和平社区蚝业路理光工业园

本发明提供干式清洗装置，其能够简单且有效地对集尘部的过滤器进行清扫。
干式清洗装置具备：清洗槽，其具有，在清洗槽内收纳有清洗介质，清洗对象以覆盖开口的方式配置；气体供给部，其经由第一流路向清洗槽内供给所述气体；集尘部，从清洗槽排出的含有污垢的废气被排出到集尘部，并由配置在集尘部内的过滤器过滤；在集尘部中还设置有向过滤器喷射气体以清扫过滤器的清扫部，清扫部经由与第一流路并行的第二流路与气体供给部连通。