二氧化硅膜过滤器10包括：以元素M为主成分且被形成在支撑体14上的超滤膜15和具有芳基且被形成在超滤膜15上的二氧化硅膜18。
该超滤膜15具有渗透了二氧化硅膜18的Si的结构，该超滤膜15中的膜侧区域16的Si相对于元素M的原子比A(＝Si/M)满足0.01≤A≤0.5，原子比A相对于基材侧区域17的原子比B(＝Si/M)的比值A/B满足1.1以上的范围，其中，膜侧区域16为从二氧化硅膜18开始的25％区域，基材侧区域17为从支撑体14开始的25％区域。

三浦绫 古川昌宏

日本碍子株式会社

日本国爱知县

二氧化硅膜过滤器10包括：以元素M为主成分且被形成在支撑体14上的超滤膜15和具有芳基且被形成在超滤膜15上的二氧化硅膜18。
该超滤膜15具有渗透了二氧化硅膜18的Si的结构，该超滤膜15中的膜侧区域16的Si相对于元素M的原子比A(＝Si/M)满足0.01≤A≤0.5，原子比A相对于基材侧区域17的原子比B(＝Si/M)的比值A/B满足1.1以上的范围，其中，膜侧区域16为从二氧化硅膜18开始的25％区域，基材侧区域17为从支撑体14开始的25％区域。