本发明提供了一种金属氯化物的纯化制粉方法及其装置，装置包括管式加热炉、竖式冷凝器与收料器，管式炉炉管分为蒸发段与纯化段，蒸发段为进料口，纯化段尾端出料口与竖式冷凝器进料口相连，竖式冷凝器出料口与收料瓶相连。
首先将一定量的金属氯化物放入蒸发段中，加热升温至一定温度使金属氯化物气化，通过预先配制的惰性气体与氯气混合气，将气态金属氯化物输送至过滤纯化装置，使气态金属氯化物中杂质被吸附去除，纯化得到纯度较高的金属氯化物气体，在竖式冷凝器中快速冷却制粉，得到的纯化金属氯化物粉末沉降至收料口，最终进入收料瓶收集。

彭宁

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本发明提供了一种金属氯化物的纯化制粉方法及其装置，装置包括管式加热炉、竖式冷凝器与收料器，管式炉炉管分为蒸发段与纯化段，蒸发段为进料口，纯化段尾端出料口与竖式冷凝器进料口相连，竖式冷凝器出料口与收料瓶相连。
首先将一定量的金属氯化物放入蒸发段中，加热升温至一定温度使金属氯化物气化，通过预先配制的惰性气体与氯气混合气，将气态金属氯化物输送至过滤纯化装置，使气态金属氯化物中杂质被吸附去除，纯化得到纯度较高的金属氯化物气体，在竖式冷凝器中快速冷却制粉，得到的纯化金属氯化物粉末沉降至收料口，最终进入收料瓶收集。