本发明公开了一种微流量标准气体发生装置、系统和方法，所述装置包括上盖、主体、下壳体、过滤单元、气体发生单元和温度传感器；所述系统则包括上述微流量标准气体发生装置、气体输运装置及电路控制装置；所述方法采用上述微流量标准气体发生系统进行微流量标准气体的发生。
本发明较好地解决了聚集气体的吸附问题，并保证了渗透管与外部环境的平衡状态，不仅体积小、集成度高，在接入检测气体使用时无需额外连接电磁阀、气体质量流量计等气路元器件，而且极大降低了设备成本及系统复杂度，使用方便、维护简单、产气速度及稳定性更好。

王竹青 付大友 袁东 谭文渊 王风青 杨冰

四川轻化工大学

643000 四川省自贡市自流井区汇兴路学苑街180号

本发明公开了一种微流量标准气体发生装置、系统和方法，所述装置包括上盖、主体、下壳体、过滤单元、气体发生单元和温度传感器；所述系统则包括上述微流量标准气体发生装置、气体输运装置及电路控制装置；所述方法采用上述微流量标准气体发生系统进行微流量标准气体的发生。
本发明较好地解决了聚集气体的吸附问题，并保证了渗透管与外部环境的平衡状态，不仅体积小、集成度高，在接入检测气体使用时无需额外连接电磁阀、气体质量流量计等气路元器件，而且极大降低了设备成本及系统复杂度，使用方便、维护简单、产气速度及稳定性更好。