本发明提供了一种微流控芯片及其夹具，包括硅基衬底和氮化硅层，其中，氮化硅层沉积在硅基衬底的上下两侧，氮化硅层图形化为多个构成阵列的栅形孔。
成功将微滤与微流控技术相结合，并采用栅形孔设计替代微滤中常用的圆孔，通过仿真设计的3‑D栅形微纳芯片，并根据常见肿瘤细胞的物理特性，优化栅形结构参数、富集分离条件，相比于单独采用微滤或微流控技术，实现了不同类型稀有细胞的富集分离和转移，大大提高了分离能力。
同时独创性地设置的涂层和环形侧冲流路，也能降低氮化硅表面的静电作用，减少细胞与氮化硅间的粘附，以及让细胞与芯片间不易形成稳定粘附，有利于细胞高效率转移。

沈佐君 何晓东

安徽省立医院

230000 安徽省合肥市中市区庐江路9号

本发明提供了一种微流控芯片及其夹具，包括硅基衬底和氮化硅层，其中，氮化硅层沉积在硅基衬底的上下两侧，氮化硅层图形化为多个构成阵列的栅形孔。
成功将微滤与微流控技术相结合，并采用栅形孔设计替代微滤中常用的圆孔，通过仿真设计的3‑D栅形微纳芯片，并根据常见肿瘤细胞的物理特性，优化栅形结构参数、富集分离条件，相比于单独采用微滤或微流控技术，实现了不同类型稀有细胞的富集分离和转移，大大提高了分离能力。
同时独创性地设置的涂层和环形侧冲流路，也能降低氮化硅表面的静电作用，减少细胞与氮化硅间的粘附，以及让细胞与芯片间不易形成稳定粘附，有利于细胞高效率转移。