本发明涉及一种多晶硅破碎物的制造方法，其包括：通过西门子法来制造多晶硅棒的工序；将该多晶硅棒破碎，得到多晶硅破碎物的工序；以及将该多晶硅破碎物在清洗槽内蚀刻来清洗的工序，在该清洗工序中，包括如下工序：使具有被控制的形状和尺寸的多晶硅小片组存在于清洗槽内，测定蚀刻处理前后的该多晶硅小片组的重量变化，管理清洗工序。
另外，本发明涉及一种多晶硅破碎物的表面金属浓度的管理方法。

西村茂树

株式会社德山

日本山口县周南市

本发明涉及一种多晶硅破碎物的制造方法，其包括：通过西门子法来制造多晶硅棒的工序；将该多晶硅棒破碎，得到多晶硅破碎物的工序；以及将该多晶硅破碎物在清洗槽内蚀刻来清洗的工序，在该清洗工序中，包括如下工序：使具有被控制的形状和尺寸的多晶硅小片组存在于清洗槽内，测定蚀刻处理前后的该多晶硅小片组的重量变化，管理清洗工序。
另外，本发明涉及一种多晶硅破碎物的表面金属浓度的管理方法。