为了在不将微粒分析装置停止、分解的情况下清洗微粒分析装置的内部，该微粒分析装置的特征在于，具有：旋流集尘装置(14)；一级过滤器(16)，其与旋流集尘装置(14)的下游连接，并被加热；气体分析装置(31)，其与一级过滤器(16)连接；气体配管部，其将旋流集尘装置(14)与气体分析装置(31)连接，并设置有一级过滤器(16)；以及清洗气体导入装置(21)，其向气体配管部中的一级过滤器(16)的下游以及旋流集尘装置(14)中的至少一方导入清洗气体，在至少清洗一级过滤器(16)的清洗模式时，与利用气体分析装置(31)进行微粒的分析的分析模式时相比从清洗气体导入装置(21)导入的清洗气体的流量上升。

熊野峻 永野久志 伊藤孝广 水野弘基 野尻辰夫 杉山益之

株式会社日立制作所

日本东京都

为了在不将微粒分析装置停止、分解的情况下清洗微粒分析装置的内部，该微粒分析装置的特征在于，具有：旋流集尘装置(14)；一级过滤器(16)，其与旋流集尘装置(14)的下游连接，并被加热；气体分析装置(31)，其与一级过滤器(16)连接；气体配管部，其将旋流集尘装置(14)与气体分析装置(31)连接，并设置有一级过滤器(16)；以及清洗气体导入装置(21)，其向气体配管部中的一级过滤器(16)的下游以及旋流集尘装置(14)中的至少一方导入清洗气体，在至少清洗一级过滤器(16)的清洗模式时，与利用气体分析装置(31)进行微粒的分析的分析模式时相比从清洗气体导入装置(21)导入的清洗气体的流量上升。