本发明涉及一种圆柱型原子气室石蜡抗弛豫镀膜装置及控制系统,由石蜡储备单元、加热镀膜单元、旋转驱动单元、光学镀膜均匀检测器、微区加热镀膜修整单元、圆柱型原子气室、驱动轮构成。
其中,石蜡储备单元由石蜡溶液容器、蠕动泵、石蜡溶液喷头组成;加热镀膜单元由恒温加热管组成;旋转驱动单元由伺服电机、驱动小齿轮、从动大齿轮、轴向运动滚轮组成;光学镀膜均匀检测器由多象限光线偏转探测器、激光控制器、连接线、激光探头组成;微区加热镀膜修整单元由多个微小加热片组成。
马宗敏 刘俊 董诚 石云波 唐军 王慧云 魏久焱
中北大学
030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号
本发明涉及一种圆柱型原子气室石蜡抗弛豫镀膜装置及控制系统,由石蜡储备单元、加热镀膜单元、旋转驱动单元、光学镀膜均匀检测器、微区加热镀膜修整单元、圆柱型原子气室、驱动轮构成。
其中,石蜡储备单元由石蜡溶液容器、蠕动泵、石蜡溶液喷头组成;加热镀膜单元由恒温加热管组成;旋转驱动单元由伺服电机、驱动小齿轮、从动大齿轮、轴向运动滚轮组成;光学镀膜均匀检测器由多象限光线偏转探测器、激光控制器、连接线、激光探头组成;微区加热镀膜修整单元由多个微小加热片组成。