目录

专利摘要

本发明涉及一种圆柱型原子气室石蜡抗弛豫镀膜装置及控制系统,由石蜡储备单元、加热镀膜单元、旋转驱动单元、光学镀膜均匀检测器、微区加热镀膜修整单元、圆柱型原子气室、驱动轮构成。
其中,石蜡储备单元由石蜡溶液容器、蠕动泵、石蜡溶液喷头组成;加热镀膜单元由恒温加热管组成;旋转驱动单元由伺服电机、驱动小齿轮、从动大齿轮、轴向运动滚轮组成;光学镀膜均匀检测器由多象限光线偏转探测器、激光控制器、连接线、激光探头组成;微区加热镀膜修整单元由多个微小加热片组成。

专利状态

基础信息

专利号
CN202011087016.2
申请日
2020-10-12
公开日
2021-07-27
公开号
CN112246489B
主分类号
/B/B05/ 作业;运输
标准类别
一般喷射或雾化;对表面涂覆液体或其他流体的一般方法
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
有效专利

发明人

马宗敏 刘俊 董诚 石云波 唐军 王慧云 魏久焱

申请人

中北大学

申请人地址

030051 山西省太原市尖草坪区学院路3号

专利摘要

本发明涉及一种圆柱型原子气室石蜡抗弛豫镀膜装置及控制系统,由石蜡储备单元、加热镀膜单元、旋转驱动单元、光学镀膜均匀检测器、微区加热镀膜修整单元、圆柱型原子气室、驱动轮构成。
其中,石蜡储备单元由石蜡溶液容器、蠕动泵、石蜡溶液喷头组成;加热镀膜单元由恒温加热管组成;旋转驱动单元由伺服电机、驱动小齿轮、从动大齿轮、轴向运动滚轮组成;光学镀膜均匀检测器由多象限光线偏转探测器、激光控制器、连接线、激光探头组成;微区加热镀膜修整单元由多个微小加热片组成。

相似专利技术