本发明提供一种声波换能单元及其制备方法、声波换能器。
该声波换能单元包括衬底和依次叠置在衬底上的第一电极、振膜层和第二电极，第一电极与振膜层之间形成有空腔，第一电极、空腔和第二电极三者在衬底上的正投影至少部分重合形成第一重合区域，振膜层上开设有镂空图案，镂空图案在衬底上的正投影围绕第一重合区域间断分布。
该声波换能单元，通过在振膜层上开设镂空图案，使振膜层在第一电极与第二电极形成的相同电场或磁场作用下振动的位移相对于未开设镂空图案的振膜层明显增大，从而使声波换能单元的发射声压显著增大，进而提升了声波换能单元的发射接收感测性能。

刘晓彤

京东方科技集团股份有限公司

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

本发明提供一种声波换能单元及其制备方法、声波换能器。
该声波换能单元包括衬底和依次叠置在衬底上的第一电极、振膜层和第二电极，第一电极与振膜层之间形成有空腔，第一电极、空腔和第二电极三者在衬底上的正投影至少部分重合形成第一重合区域，振膜层上开设有镂空图案，镂空图案在衬底上的正投影围绕第一重合区域间断分布。
该声波换能单元，通过在振膜层上开设镂空图案，使振膜层在第一电极与第二电极形成的相同电场或磁场作用下振动的位移相对于未开设镂空图案的振膜层明显增大，从而使声波换能单元的发射声压显著增大，进而提升了声波换能单元的发射接收感测性能。