换能器组件(700)包括：微机电系统(MEMS)管芯(702)，其包括多个压电元件(720)；互补金属氧化物半导体(CMOS)管芯(704)，其通过第一多个凸块(712)电耦合到MEMS管芯(702)，并包括用于控制多个压电元件(720)的至少一个电路；封装(706)，其通过粘合剂层(710)固定到CMOS管芯(704)并电连接到CMOS管芯(704)。

雅努什·布雷泽克 桑迪普·阿卡拉杰 优素福·哈克 乔·亚当

艾科索成像公司

美国加利福尼亚州

换能器组件(700)包括：微机电系统(MEMS)管芯(702)，其包括多个压电元件(720)；互补金属氧化物半导体(CMOS)管芯(704)，其通过第一多个凸块(712)电耦合到MEMS管芯(702)，并包括用于控制多个压电元件(720)的至少一个电路；封装(706)，其通过粘合剂层(710)固定到CMOS管芯(704)并电连接到CMOS管芯(704)。