静电致动器具备固定电极(1)和以与固定电极(1)对置的方式配置的可动电极(2)。
可动电极(2)能够相对于固定电极(1)及固定部(3)位移。
在可动电极(2)与固定部(3)之间作用吸引力。
并且，静电致动器的在对固定电极(1)及可动电极(2)施加了电压时的可动电极(2)的非线性振动被在可动电极(2)与固定部(3)之间作用的吸引力降低。

原田翔太 伊藤启太郎 城森知也 山田英雄 稻垣优辉 明石照久 畑良幸

株式会社电装

日本爱知县

静电致动器具备固定电极(1)和以与固定电极(1)对置的方式配置的可动电极(2)。
可动电极(2)能够相对于固定电极(1)及固定部(3)位移。
在可动电极(2)与固定部(3)之间作用吸引力。
并且，静电致动器的在对固定电极(1)及可动电极(2)施加了电压时的可动电极(2)的非线性振动被在可动电极(2)与固定部(3)之间作用的吸引力降低。