本发明涉及一种跨尺度分级微结构创成装置，属于微/纳结构超精密制造领域。
后盖板、法兰盘、压电陶瓷片和一体式变幅杆柔性运动机构通过螺杆和螺母串联连接，两个矩形加强块分别通过紧固螺钉与一体式变幅杆柔性运动机构前端固接，通过控制两个压电叠堆驱动器驱动一体式变幅杆柔性运动机构柔性部分动作形成刀尖处的微幅振动，金刚石刀具安装在一体式变幅杆柔性运动机构装刀位置用于加工。
本发明结构新颖且简单，易于制造，柔性运动部分质量小，易于实现高频输出；配合超精密机床伺服运动，可一次高效、高质、柔性的创成跨尺度分级微纳结构表面，通过对输入信号的控制，实现不同切削轨迹的调控，有效提高面对不同跨尺度分级微纳结构表面的加工柔性。

韩金国 田业冰 王金辉 范增华 张浩哲

山东理工大学

255086 山东省淄博市高新技术开发区高创园A座313室

本发明涉及一种跨尺度分级微结构创成装置，属于微/纳结构超精密制造领域。
后盖板、法兰盘、压电陶瓷片和一体式变幅杆柔性运动机构通过螺杆和螺母串联连接，两个矩形加强块分别通过紧固螺钉与一体式变幅杆柔性运动机构前端固接，通过控制两个压电叠堆驱动器驱动一体式变幅杆柔性运动机构柔性部分动作形成刀尖处的微幅振动，金刚石刀具安装在一体式变幅杆柔性运动机构装刀位置用于加工。
本发明结构新颖且简单，易于制造，柔性运动部分质量小，易于实现高频输出；配合超精密机床伺服运动，可一次高效、高质、柔性的创成跨尺度分级微纳结构表面，通过对输入信号的控制，实现不同切削轨迹的调控，有效提高面对不同跨尺度分级微纳结构表面的加工柔性。