一种用于微纳加工的二维超声振动平台，包括矩形环状基体，矩形框基体中空部分的中心位置设置有运动平台，矩形框基体的四个边框的内侧边对应运动平台分别设置有一个压电陶瓷驱动器，每一个压电陶瓷驱动器与运动平台之间都设置有一个由横观各向同性材料构成的解耦垫片，矩形框基体的四个边框上对应压电陶瓷驱动器分别设置有螺纹连接且贯穿边框的预紧螺栓，预紧螺栓用于对运动平台、解耦垫片和压电陶瓷驱动器之间的接触连接进行调节性的预紧。
本发明整个系统具有足够的刚度和稳定性；X/Y方向上的超声振动分别由各自方向上的两个压电陶瓷共同控制，保证振动的精度和重复性；使用特殊材料对X/Y方向的振动进行解耦，减小超声振动在非工作方向上的耦合误差。

卢康康 田延岭 王福军 周重凯 张大卫

天津大学

300072 天津市南开区卫津路92号

一种用于微纳加工的二维超声振动平台，包括矩形环状基体，矩形框基体中空部分的中心位置设置有运动平台，矩形框基体的四个边框的内侧边对应运动平台分别设置有一个压电陶瓷驱动器，每一个压电陶瓷驱动器与运动平台之间都设置有一个由横观各向同性材料构成的解耦垫片，矩形框基体的四个边框上对应压电陶瓷驱动器分别设置有螺纹连接且贯穿边框的预紧螺栓，预紧螺栓用于对运动平台、解耦垫片和压电陶瓷驱动器之间的接触连接进行调节性的预紧。
本发明整个系统具有足够的刚度和稳定性；X/Y方向上的超声振动分别由各自方向上的两个压电陶瓷共同控制，保证振动的精度和重复性；使用特殊材料对X/Y方向的振动进行解耦，减小超声振动在非工作方向上的耦合误差。