本发明涉及一种振动装置,其包括:‑第一支承件(1),其配置为待变形,以具有在X和Y方向上的平面中限定的表面(S);‑至少一个致动器(2),其配置为生成在所述第一支承件中传播的板模式;‑所述第一支承件包括:○与所述板模式的传播有关的至少一个缺陷;○所述缺陷具有几何结构特性或对应于结构非均质性;其特征在于,所述振动装置包括:‑第二支承件(4);‑至少一个嵌入式机械反射器(3),其紧固至所述第一支承件并且与所述第一支承件接触,所述至少一个嵌入式机械反射器配置为使所述第一支承件在与所述X和Y方向成直角的至少一个Z方向上固定,所述机械反射器紧固至所述第二支承件;并且‑所述嵌入式机械反射器配置为隔离出所述板模式在其中传播的所谓的活动区域(Sa),该活动区域属于在X和Y方向上的平面中限定的所述表面(S),所述活动区域不包括所述缺陷;‑所述致动器位于所述活动区域中。
C·沙帕 F·卡塞 S·巴斯鲁尔 M·戈里斯
原子能和能源替代品委员会 意法半导体(克洛尔2)公司 格勒诺布尔-阿尔卑斯大学
法国巴黎
本发明涉及一种振动装置,其包括:‑第一支承件(1),其配置为待变形,以具有在X和Y方向上的平面中限定的表面(S);‑至少一个致动器(2),其配置为生成在所述第一支承件中传播的板模式;‑所述第一支承件包括:○与所述板模式的传播有关的至少一个缺陷;○所述缺陷具有几何结构特性或对应于结构非均质性;其特征在于,所述振动装置包括:‑第二支承件(4);‑至少一个嵌入式机械反射器(3),其紧固至所述第一支承件并且与所述第一支承件接触,所述至少一个嵌入式机械反射器配置为使所述第一支承件在与所述X和Y方向成直角的至少一个Z方向上固定,所述机械反射器紧固至所述第二支承件;并且‑所述嵌入式机械反射器配置为隔离出所述板模式在其中传播的所谓的活动区域(Sa),该活动区域属于在X和Y方向上的平面中限定的所述表面(S),所述活动区域不包括所述缺陷;‑所述致动器位于所述活动区域中。