一种三维解耦超声纳米振动台，包括基座，所述的基座上设置有超声振动台，所述超声振动台的底部与所述的基座为镶嵌式连接，所述超声振动台内沿超声振动台的X、Y方向分别设置有用于对超声振动台的主振动台进行X、Y方向超声振动驱动的第一超声振动驱动机构和第二超声振动驱动机构，所述超声振动台的底端沿超声振动台的Z方向设置有用于对超声振动台的主振动台进行Z方向超声振动驱动的第三超声振动驱动机构，所述第一超声振动驱动机构、第二超声振动驱动机构和第三超声振动驱动机构之间为相互垂直设置。
本发明超声振动台采用整体设计，结构简单、紧凑，能够有效提高超声振动台的一阶固有频率，从而保证超声纳米振动平台辅助加工的可调频率范围。

田延岭 卢康康 王福军 周重凯 马越 张大卫

天津大学

300072 天津市南开区卫津路92号

一种三维解耦超声纳米振动台，包括基座，所述的基座上设置有超声振动台，所述超声振动台的底部与所述的基座为镶嵌式连接，所述超声振动台内沿超声振动台的X、Y方向分别设置有用于对超声振动台的主振动台进行X、Y方向超声振动驱动的第一超声振动驱动机构和第二超声振动驱动机构，所述超声振动台的底端沿超声振动台的Z方向设置有用于对超声振动台的主振动台进行Z方向超声振动驱动的第三超声振动驱动机构，所述第一超声振动驱动机构、第二超声振动驱动机构和第三超声振动驱动机构之间为相互垂直设置。
本发明超声振动台采用整体设计，结构简单、紧凑，能够有效提高超声振动台的一阶固有频率，从而保证超声纳米振动平台辅助加工的可调频率范围。