本发明涉及pMUT及pMUT换能器阵列的电极配置，根据本文所述例示性具体实施例所提供的是各具有第一电极的压致微机械超音波换能器(pMUT)，该第一电极包括第一电极部与第二电极部。
该第二电极部可与该第一电极部分别操作。
第二电极与该第一电极隔开并且在该第一电极与该第二电极间界定空间。
压电材料设置于该空间中。
还提供的是pMUT的阵列，其中个别pMUT具有可与阵列诸列操作性联结的第一电极部、以及可与阵列诸行操作性联结的第二电极部。

亚维克·纳斯·查特基 拉盖·库马 杰米·夫卡司 马特斯·汤马士·马拉克

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本发明涉及pMUT及pMUT换能器阵列的电极配置，根据本文所述例示性具体实施例所提供的是各具有第一电极的压致微机械超音波换能器(pMUT)，该第一电极包括第一电极部与第二电极部。
该第二电极部可与该第一电极部分别操作。
第二电极与该第一电极隔开并且在该第一电极与该第二电极间界定空间。
压电材料设置于该空间中。
还提供的是pMUT的阵列，其中个别pMUT具有可与阵列诸列操作性联结的第一电极部、以及可与阵列诸行操作性联结的第二电极部。