本发明提出了一种机械槽增强型差分式压电超声换能器及其工作方法。
该超声换能器，包括超声换能器本体，超声换能器本体包括底部设有空腔的基底层、固设于该基底层上的停止层以及自基底层往停止层方向依次设置的弹性层、底电极、压电层，压电层上设有顶部内电极，顶部内电极外周环绕设置有顶部外电极，顶部内电极与顶部外电极之间设有机械槽组，该机械槽组的开口朝向压电层方向。
该超声换能器结构简单，顶部内电极和顶部外电极这种差分式电极设计使得该超声换能器能工作在差分式电极工作模式下，此模式的理想状态下的信号将会双倍增强于单电极工作模式，同时机械槽的设计也可增强超声换能器的输出信号、敏感信号，进而提高了其传感灵敏度。

牟笑静 周雪梅 黄河 蔡贵祥 易拥洁

重庆大学

400030 重庆市沙坪坝区沙正街174号

本发明提出了一种机械槽增强型差分式压电超声换能器及其工作方法。
该超声换能器，包括超声换能器本体，超声换能器本体包括底部设有空腔的基底层、固设于该基底层上的停止层以及自基底层往停止层方向依次设置的弹性层、底电极、压电层，压电层上设有顶部内电极，顶部内电极外周环绕设置有顶部外电极，顶部内电极与顶部外电极之间设有机械槽组，该机械槽组的开口朝向压电层方向。
该超声换能器结构简单，顶部内电极和顶部外电极这种差分式电极设计使得该超声换能器能工作在差分式电极工作模式下，此模式的理想状态下的信号将会双倍增强于单电极工作模式，同时机械槽的设计也可增强超声换能器的输出信号、敏感信号，进而提高了其传感灵敏度。