提供良好驱动精度的压电组件、超声波组件以及电子设备。
具备:元件基板,包括呈阵列状配置的多个压电体,以及与压电体连接并引出到与该压电体相邻的压电体之间的多个连接电极;输入输出电路,设置在元件基板的一面侧,对各连接电极分别独立输入输出信号;以及柱状电极,设置在各连接电极的每个与输入输出电路之间,连接各连接电极和输入输出电路。
清濑摄内
精工爱普生株式会社
日本东京
提供良好驱动精度的压电组件、超声波组件以及电子设备。
具备:元件基板,包括呈阵列状配置的多个压电体,以及与压电体连接并引出到与该压电体相邻的压电体之间的多个连接电极;输入输出电路,设置在元件基板的一面侧,对各连接电极分别独立输入输出信号;以及柱状电极,设置在各连接电极的每个与输入输出电路之间,连接各连接电极和输入输出电路。