本发明公开了一种压电超声换能器及其制造方法，其涉及超声传感器技术领域，所述压电超声换能器包括：硬质基层和预设超声频率振动的隔膜层；所述隔膜层包括第一电极层、第二电极层以及设置于第一电极层和第二电极层之间的压电层；所述硬质基层设置有凹槽，所述凹槽与所述隔膜层构成一全封闭式或半封闭式的空腔；所述隔膜层的力学中性层高于或低于所述压电层的物理中心层，以使得当所述第一电极层和/或所述第二电极层施加一电学激励时，所述隔膜层能产生预设幅度的位移而产生超声波。
本申请能够简化结构，在此压电超声换能器结构简化的前提下，可减少其制作工艺的步骤。

黄景泽 程泰毅

上海思立微电子科技有限公司

201203 上海市浦东新区盛夏路560号2幢1003室

本发明公开了一种压电超声换能器及其制造方法，其涉及超声传感器技术领域，所述压电超声换能器包括：硬质基层和预设超声频率振动的隔膜层；所述隔膜层包括第一电极层、第二电极层以及设置于第一电极层和第二电极层之间的压电层；所述硬质基层设置有凹槽，所述凹槽与所述隔膜层构成一全封闭式或半封闭式的空腔；所述隔膜层的力学中性层高于或低于所述压电层的物理中心层，以使得当所述第一电极层和/或所述第二电极层施加一电学激励时，所述隔膜层能产生预设幅度的位移而产生超声波。
本申请能够简化结构，在此压电超声换能器结构简化的前提下，可减少其制作工艺的步骤。