一种超声波压电式换能器装置，包括换能器阵列和基底，换能器阵列由振动元件阵列组成，换能器阵列中的振动元件阵列附接至基底。
基底包括集成电互连，用于在振动元件和外部控制电路之间传送驱动信号和感测信号。
基底可以是ASIC晶圆，其包括集成电路，用于控制对所感测信号的驱动和处理。
基底中的互连和控制电路基本装配在位于多个振动元件阵列下方的区域内。

A.比布尔 H-F.S.劳 K.冯艾森 M.G.奥托森

富士胶卷迪马蒂克斯股份有限公司

美国新罕布什尔州

一种超声波压电式换能器装置，包括换能器阵列和基底，换能器阵列由振动元件阵列组成，换能器阵列中的振动元件阵列附接至基底。
基底包括集成电互连，用于在振动元件和外部控制电路之间传送驱动信号和感测信号。
基底可以是ASIC晶圆，其包括集成电路，用于控制对所感测信号的驱动和处理。
基底中的互连和控制电路基本装配在位于多个振动元件阵列下方的区域内。