本发明提供一种压电超声换能器及其制备方法，压电超声换能器包括振膜和贴设在振膜上的压电膜，振膜靠近基底方向的边缘区域设置有通电状态下可以产生焦耳热使振膜局部温度上升的电阻结构。
由于振膜采用二氧化硅等杨氏模量随温度上升而减小的材料，加热会导致振膜的整体弹性系数降低，换能器的机电耦合系数增大，声压输出发生改变；另一方面，振膜振动时的谐振频率随弹性系数的降低而减小，实现了超声波输出频率的动态调整。

朱雁青 兰晓东 童贝 李杨

瑞声科技(新加坡)有限公司

新加坡宏茂桥65街10号通聚科技大楼1楼8号

本发明提供一种压电超声换能器及其制备方法，压电超声换能器包括振膜和贴设在振膜上的压电膜，振膜靠近基底方向的边缘区域设置有通电状态下可以产生焦耳热使振膜局部温度上升的电阻结构。
由于振膜采用二氧化硅等杨氏模量随温度上升而减小的材料，加热会导致振膜的整体弹性系数降低，换能器的机电耦合系数增大，声压输出发生改变；另一方面，振膜振动时的谐振频率随弹性系数的降低而减小，实现了超声波输出频率的动态调整。