本发明公开了一种基于双层压电薄膜的双频压电式微机械超声换能器。
现有技术在同一个平面设置两个顶电极影响双频压电式微机械超声换能器的性能。
本发明包括双层压电薄膜和三层电极，其基本单元结构为截面是正多边形的棱柱，由上而下依次包括金属上电极层、上层压电薄膜、中间金属电极层、下层压电薄膜、金属下电极层、硅器件层、埋氧层、硅衬底层。
沿硅衬底层的中心轴开有微腔，埋氧层将微腔顶部封盖。
本发明在两层压电薄膜的中间设置一个公用电极，再在双层压电薄膜的顶部和底部分别设置一个电极，取代之前设置在同一个表面的两个顶电极，避免两个电极在位置和间距上的限制，优化了电极参数，提高了双频压电式微机械超声换能器性能。

吴丽翔

杭州电子科技大学

310018 浙江省杭州市下沙高教园区2号大街

本发明公开了一种基于双层压电薄膜的双频压电式微机械超声换能器。
现有技术在同一个平面设置两个顶电极影响双频压电式微机械超声换能器的性能。
本发明包括双层压电薄膜和三层电极，其基本单元结构为截面是正多边形的棱柱，由上而下依次包括金属上电极层、上层压电薄膜、中间金属电极层、下层压电薄膜、金属下电极层、硅器件层、埋氧层、硅衬底层。
沿硅衬底层的中心轴开有微腔，埋氧层将微腔顶部封盖。
本发明在两层压电薄膜的中间设置一个公用电极，再在双层压电薄膜的顶部和底部分别设置一个电极，取代之前设置在同一个表面的两个顶电极，避免两个电极在位置和间距上的限制，优化了电极参数，提高了双频压电式微机械超声换能器性能。