本发明涉及电容变换器及其制造方法、探测器以及对象信息获取装置。
电容变换器中的旁瓣被缩减。
提供了一种电容变换器,该电容变换器包括:包含多个单元的元件,所述多个单元被支撑,使得包含其间形成有间隙的一对电极之一的振动膜片能够振动,其中,元件端部中的单元之间的距离大于元件中间部分中的单元之间的距离。
虎岛和敏 长永兼一
佳能株式会社
日本东京
本发明涉及电容变换器及其制造方法、探测器以及对象信息获取装置。
电容变换器中的旁瓣被缩减。
提供了一种电容变换器,该电容变换器包括:包含多个单元的元件,所述多个单元被支撑,使得包含其间形成有间隙的一对电极之一的振动膜片能够振动,其中,元件端部中的单元之间的距离大于元件中间部分中的单元之间的距离。