公开了一种超声系统，包括：探头(10)，其包括CMUT(电容式微机械超声换能器)单元(100)的阵列(110)，每个单元包括承载电极布置的第一电极(122)的基板(112)，所述基板与包括所述电极布置的第二电极(120)的柔性膜(114)在空间上分开一间隙(118)，所述柔性膜包括中心区域(17、17’)中的质量元件(140)；以及电压源(45)，其被耦合到所述探头，并且适于在所述超声系统的发射模式中向所述CMUT单元中的至少一些CMUT单元的相应的电极布置提供电压，所述电压包括偏置电压分量，其将所述CMUT单元中的所述至少一些CMUT单元驱动到塌陷状态中，在所述塌陷状态中，所述柔性膜的中心部分与所述基板接触，所述中心部分包括所述中心区域；以及刺激分量，其具有用于使在所述塌陷状态中的所述CMUT单元中的所述至少一些CMUT单元的相应的柔性膜谐振的设置频率，其中，所述至少一些CMUT单元中的每个CMUT单元的所述质量元件迫使所述单元的所述柔性膜的至少所述中心区域在所述谐振期间保持与所述基板接触。
还公开了用于这样的系统的脉冲发射方法。

H·范 R·毛奇斯措克 N·M·A·德维尔德

皇家飞利浦有限公司

荷兰艾恩德霍芬

公开了一种超声系统，包括：探头(10)，其包括CMUT(电容式微机械超声换能器)单元(100)的阵列(110)，每个单元包括承载电极布置的第一电极(122)的基板(112)，所述基板与包括所述电极布置的第二电极(120)的柔性膜(114)在空间上分开一间隙(118)，所述柔性膜包括中心区域(17、17’)中的质量元件(140)；以及电压源(45)，其被耦合到所述探头，并且适于在所述超声系统的发射模式中向所述CMUT单元中的至少一些CMUT单元的相应的电极布置提供电压，所述电压包括偏置电压分量，其将所述CMUT单元中的所述至少一些CMUT单元驱动到塌陷状态中，在所述塌陷状态中，所述柔性膜的中心部分与所述基板接触，所述中心部分包括所述中心区域；以及刺激分量，其具有用于使在所述塌陷状态中的所述CMUT单元中的所述至少一些CMUT单元的相应的柔性膜谐振的设置频率，其中，所述至少一些CMUT单元中的每个CMUT单元的所述质量元件迫使所述单元的所述柔性膜的至少所述中心区域在所述谐振期间保持与所述基板接触。
还公开了用于这样的系统的脉冲发射方法。