本发明提供一种压电超声换能器及其制备方法，所述压电超声换能器包括中心设有空腔的基底、固定在所述基底上的振膜以及自所述基底往振膜的方向依次沉积在振膜上的第一电极、压电膜和第二电极，其特征在于，所述振膜包括位于中央的第一振膜和位于所述第一振膜外侧的第二振膜，所述第一振膜与第二振膜间隔设置并通过弹性结构层连接，所述压电超声换能器在对应所述弹性结构层的位置还设有贯穿第二电极、压电膜以及第一电极的贯通孔。
本发明的压电超声换能器能够提高声压的输出。

朱雁青 兰晓东 童贝 李杨

瑞声科技(新加坡)有限公司

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本发明提供一种压电超声换能器及其制备方法，所述压电超声换能器包括中心设有空腔的基底、固定在所述基底上的振膜以及自所述基底往振膜的方向依次沉积在振膜上的第一电极、压电膜和第二电极，其特征在于，所述振膜包括位于中央的第一振膜和位于所述第一振膜外侧的第二振膜，所述第一振膜与第二振膜间隔设置并通过弹性结构层连接，所述压电超声换能器在对应所述弹性结构层的位置还设有贯穿第二电极、压电膜以及第一电极的贯通孔。
本发明的压电超声换能器能够提高声压的输出。