本发明提供一种微纳结构加工机床，包括：可沿机床X轴方向移动的刀座，刀座上设有轴线垂直机床X轴方向的转动轴，转动轴端部装设有刀具；与刀座相对设置且可沿机床Z轴方向移动的工件架；固定于工件架上的振动装置，振动装置包括基台、第一柔性振动体、第二柔性振动体、工件平台和驱动第一柔性振动体和第二柔性振动体振动的振动部，第一柔性振动体连接基台和工件平台且振动传感方向为机床X轴方向，第二柔性振动体连接基台和工件平台且振动传感方向为机床Z轴方向，第一柔性振动体和第二柔性振动体分别位于工件平台相邻两侧，工件平台未连接有第一柔性振动体和第二柔性振动体的一侧与刀具相对设置。
本发明还提供两种微纳结构加工方法。

张国庆 朱志伟 伍晓宇 黄鹏

深圳大学

518000 广东省深圳市南山区南海大道3688号

本发明提供一种微纳结构加工机床，包括：可沿机床X轴方向移动的刀座，刀座上设有轴线垂直机床X轴方向的转动轴，转动轴端部装设有刀具；与刀座相对设置且可沿机床Z轴方向移动的工件架；固定于工件架上的振动装置，振动装置包括基台、第一柔性振动体、第二柔性振动体、工件平台和驱动第一柔性振动体和第二柔性振动体振动的振动部，第一柔性振动体连接基台和工件平台且振动传感方向为机床X轴方向，第二柔性振动体连接基台和工件平台且振动传感方向为机床Z轴方向，第一柔性振动体和第二柔性振动体分别位于工件平台相邻两侧，工件平台未连接有第一柔性振动体和第二柔性振动体的一侧与刀具相对设置。
本发明还提供两种微纳结构加工方法。