本发明公开了一种双频压电式微机械超声换能器及其制备方法。
目前还没有基于单个振动膜片的双频压电式微机械超声换能器。
本发明由上至下依次包括金属上电极层、压电薄膜层、金属下电极层、硅器件层、埋氧层、硅衬底层。
埋氧层和硅衬底层内开有微腔。
压电薄膜层包括位于同一平面的方形外框和设置在外框内的圆形片。
金属上电极层包括位于同一平面互不接触的两个圆环形上电极；金属下电极层包括位于同一平面互不接触的两个圆环形下电极。
外环上、下电极，以及内环上、下电极的圆环形金属片形状和尺寸相同，位置对应。
本发明能够在单个振动膜片上同时发出两种不同中心频率的宽带超声，工艺简单，有利于波束形成，适用于双频带片上超声系统。

吴丽翔

杭州电子科技大学

310018 浙江省杭州市下沙高教园区2号大街

本发明公开了一种双频压电式微机械超声换能器及其制备方法。
目前还没有基于单个振动膜片的双频压电式微机械超声换能器。
本发明由上至下依次包括金属上电极层、压电薄膜层、金属下电极层、硅器件层、埋氧层、硅衬底层。
埋氧层和硅衬底层内开有微腔。
压电薄膜层包括位于同一平面的方形外框和设置在外框内的圆形片。
金属上电极层包括位于同一平面互不接触的两个圆环形上电极；金属下电极层包括位于同一平面互不接触的两个圆环形下电极。
外环上、下电极，以及内环上、下电极的圆环形金属片形状和尺寸相同，位置对应。
本发明能够在单个振动膜片上同时发出两种不同中心频率的宽带超声，工艺简单，有利于波束形成，适用于双频带片上超声系统。