本实用新型公开了一种具有刻蚀孔及分块式上电极的微机电压电超声波换能器。
换能器设有基底、结构层、底电极、压电层、上电极。
换能器工作原理是利用正、逆压电效应实现机械能到电能或电能到机械能的转换。
本实用新型将原为方形环结构的上电极及压电层切分为四块等面积矩形结构，这种结构可以减少上电极与底电极的正对面积，从而减少寄生电容，提高超声波换能器的信噪比。
同时，在空出的四个边角处刻蚀出小孔，这样有利于降低振膜的刚度，提高换能器的发射灵敏度，进而弥补减少上电极面积对换能器发射灵敏度造成的损失。

谢金 杨邓飞 陈旭颖

浙江大学

310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号

本实用新型公开了一种具有刻蚀孔及分块式上电极的微机电压电超声波换能器。
换能器设有基底、结构层、底电极、压电层、上电极。
换能器工作原理是利用正、逆压电效应实现机械能到电能或电能到机械能的转换。
本实用新型将原为方形环结构的上电极及压电层切分为四块等面积矩形结构，这种结构可以减少上电极与底电极的正对面积，从而减少寄生电容，提高超声波换能器的信噪比。
同时，在空出的四个边角处刻蚀出小孔，这样有利于降低振膜的刚度，提高换能器的发射灵敏度，进而弥补减少上电极面积对换能器发射灵敏度造成的损失。