本发明提供一种超音波探头包括微机械超音波换能器基板及接地层。
微机械超音波换能器基板具有发射面、声波产生数组及接地线,声波产生数组及接地线形成于发射面。
接地层形成于发射面之边缘。
接地线连接声波产生数组与接地层。
借以提升电性连接的有效性。
蒋富升
苏州佳世达电通有限公司 佳世达科技股份有限公司
215011 江苏省苏州市高新区珠江路169号
本发明提供一种超音波探头包括微机械超音波换能器基板及接地层。
微机械超音波换能器基板具有发射面、声波产生数组及接地线,声波产生数组及接地线形成于发射面。
接地层形成于发射面之边缘。
接地线连接声波产生数组与接地层。
借以提升电性连接的有效性。