一种用于声波传输的超声阵列，其包括至少一个电容式微机械超声换能器(CMUT)单元，其中，所述CMUT单元包括：基底(4)，其具有第一电极(7)；单元膜(5)，其具有第二电极(7’)，所述第二电极与第一电极相对，在其之间具有腔体(8)，其中，所述膜被布置为在所述单元激活时进行振动；以及声学窗口层(13)，其叠加在所述单元膜上并且具有外部表面以及与所述单元膜相对的内部表面；所述声学窗口层与所述单元膜直接接触并且包括包含抗氧化剂分子和聚合物材料的第一层，其中，所述聚合物材料包含氢原子和碳原子并且具有等于或3小于0.95g/cm

L·J·A·M·贝克尔斯 F·J·G·哈肯斯 P·迪克森

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荷兰艾恩德霍芬

一种用于声波传输的超声阵列，其包括至少一个电容式微机械超声换能器(CMUT)单元，其中，所述CMUT单元包括：基底(4)，其具有第一电极(7)；单元膜(5)，其具有第二电极(7’)，所述第二电极与第一电极相对，在其之间具有腔体(8)，其中，所述膜被布置为在所述单元激活时进行振动；以及声学窗口层(13)，其叠加在所述单元膜上并且具有外部表面以及与所述单元膜相对的内部表面；所述声学窗口层与所述单元膜直接接触并且包括包含抗氧化剂分子和聚合物材料的第一层，其中，所述聚合物材料包含氢原子和碳原子并且具有等于或3小于0.95g/cm