本发明涉及压电换能器领域,提供了一种换能器,所述换能器包括第一晶圆和第二晶圆,所述第一晶圆和第二晶圆均包括基底、固定在所述基底一侧的第一氧化物层、固定在所述基底另一侧的金属层、以及在所述第一氧化物层上依次沉积形成的氮化硅层、第一电极、压电层和第二电极,所述基底包括第一硅层、第二硅层和夹设于所述第一硅层和第二硅层之间的第二氧化物层;所述第一晶圆的金属层和所述第二晶圆的金属层固定连接;所述第一晶圆设有空腔和缝隙,所述第二晶圆设有空腔、第一缝隙和第二隙缝。
同时,本发明还提供一种换能器的制作方法。
与现有技术相比,通过两个晶圆设计,将SPL提升两倍,同时增加结构的稳定性。
吴健兴 但强 吴伟昌 黎家健
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本发明涉及压电换能器领域,提供了一种换能器,所述换能器包括第一晶圆和第二晶圆,所述第一晶圆和第二晶圆均包括基底、固定在所述基底一侧的第一氧化物层、固定在所述基底另一侧的金属层、以及在所述第一氧化物层上依次沉积形成的氮化硅层、第一电极、压电层和第二电极,所述基底包括第一硅层、第二硅层和夹设于所述第一硅层和第二硅层之间的第二氧化物层;所述第一晶圆的金属层和所述第二晶圆的金属层固定连接;所述第一晶圆设有空腔和缝隙,所述第二晶圆设有空腔、第一缝隙和第二隙缝。
同时,本发明还提供一种换能器的制作方法。
与现有技术相比,通过两个晶圆设计,将SPL提升两倍,同时增加结构的稳定性。