本发明公开了一种基于物联网的清洗用夹持结构，涉及晶圆清洗技术领域；包括主体、至少三个滑动连接在主体一端的用于夹持晶圆的爪部、用于检测晶圆的圆度的检测机构、用于控制爪部开合的控制机构、和检测机构连接的处理模块、和处理模块连接的无线通讯模块；所述主体端部设有若干用于支撑晶圆的支撑柱；所述爪部以主体的轴为中心呈环形阵列布置。
本发明提出一种基于物联网的清洗用夹持结构，能进行远程监控。

汪钢

宁波润华全芯微电子设备有限公司

315400 浙江省宁波市余姚市新桥村村委东首

本发明公开了一种基于物联网的清洗用夹持结构，涉及晶圆清洗技术领域；包括主体、至少三个滑动连接在主体一端的用于夹持晶圆的爪部、用于检测晶圆的圆度的检测机构、用于控制爪部开合的控制机构、和检测机构连接的处理模块、和处理模块连接的无线通讯模块；所述主体端部设有若干用于支撑晶圆的支撑柱；所述爪部以主体的轴为中心呈环形阵列布置。
本发明提出一种基于物联网的清洗用夹持结构，能进行远程监控。