公开了一种液体处理装置和一种液体处理方法。
该液体处理装置包括:提供用于加工基板的空间的室;设置在该室中以支撑基板的支撑单元;喷射单元,其具有喷嘴以用于向由支撑单元支撑的基板供应清洁介质;以及辅助喷射单元,其具有辅助喷嘴以用于向由支撑单元支撑的基板供应防污染液体。
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韩国忠清南道
公开了一种液体处理装置和一种液体处理方法。
该液体处理装置包括:提供用于加工基板的空间的室;设置在该室中以支撑基板的支撑单元;喷射单元,其具有喷嘴以用于向由支撑单元支撑的基板供应清洁介质;以及辅助喷射单元,其具有辅助喷嘴以用于向由支撑单元支撑的基板供应防污染液体。