本发明公开了一种在透明材料表面和内部制备镂空结构的方法，属于飞秒激光微纳加工技术领域，本发明通过精确的控制偏振和加工功率，使用飞秒激光直写方式在透明材料内部直写精度为百纳米的改性区域，随后使用机械/离子束减薄的方式将透明材料的表面减薄至加工区域位置(表面加工)，最后使用湿法刻蚀工艺对材料进行刻蚀，最终实现了具有高精度、任意图案化结构的百纳米精度的镂空结构的制备。
本发明的方法在无真空环境下可以实现多种常见的透明材料的高效高精度加工，解决了现有技术中对环境要求比较高，加工效率较低的问题。

孙洪波 樊华 陈岐岱

吉林大学

130012 吉林省长春市前进大街2699号

本发明公开了一种在透明材料表面和内部制备镂空结构的方法，属于飞秒激光微纳加工技术领域，本发明通过精确的控制偏振和加工功率，使用飞秒激光直写方式在透明材料内部直写精度为百纳米的改性区域，随后使用机械/离子束减薄的方式将透明材料的表面减薄至加工区域位置(表面加工)，最后使用湿法刻蚀工艺对材料进行刻蚀，最终实现了具有高精度、任意图案化结构的百纳米精度的镂空结构的制备。
本发明的方法在无真空环境下可以实现多种常见的透明材料的高效高精度加工，解决了现有技术中对环境要求比较高，加工效率较低的问题。