本发明涉及砂轮相关的技术领域,更具体地,本发明提供一种半导体基板倒角精密磨削用金刚石砂轮。
本发明的第一方面提供一种精密磨削用金刚石砂轮,包括如下重量份的原料:230~380份粘合剂与50~80份金刚石;粘合剂选自钴粉、铁粉、银粉、锡粉、镍粉、铜粉中的任一种或多种的组合。
本发明提供的砂轮通过采用特定粒径的粘结剂与金刚石相结合,提高了粘结剂对金刚石的把持力,自锐性好,保证了砂轮的耐磨性与锋利度;同时有利于所得硅片的表面粗糙度好,较光滑,也使得多次加工条件下砂轮可以保证其圆弧槽的尺寸和精度,且本发明提供的砂轮加工性能良好,可以实现每个砂轮中圆弧槽的耐磨性与锋利度保持一致。
印鹏 印小峰 时双涛
上海橄榄精密工具有限公司
200120 上海市浦东新区惠南镇汇成路601弄1-8号1幢全幢
本发明涉及砂轮相关的技术领域,更具体地,本发明提供一种半导体基板倒角精密磨削用金刚石砂轮。
本发明的第一方面提供一种精密磨削用金刚石砂轮,包括如下重量份的原料:230~380份粘合剂与50~80份金刚石;粘合剂选自钴粉、铁粉、银粉、锡粉、镍粉、铜粉中的任一种或多种的组合。
本发明提供的砂轮通过采用特定粒径的粘结剂与金刚石相结合,提高了粘结剂对金刚石的把持力,自锐性好,保证了砂轮的耐磨性与锋利度;同时有利于所得硅片的表面粗糙度好,较光滑,也使得多次加工条件下砂轮可以保证其圆弧槽的尺寸和精度,且本发明提供的砂轮加工性能良好,可以实现每个砂轮中圆弧槽的耐磨性与锋利度保持一致。