本发明公开了一种主基板用表面精整制造打磨装置，包括操作台、驱动电机和打磨盘，驱动电机设置于操作台的上方，操作台的顶端设有位置调整机构，操作台顶端的中部固定连接有载物罩，操作台底端的一侧固定连接有抽气泵，抽气泵通过抽气管与载物罩的内腔连通，抽气管的一端固定连接有密封管头，且密封管头与载物罩内腔的底端固定连接。
本发明利用抽气泵和抽气管将载物罩内的空气抽出，使载物罩内形成负压，从而将主基板吸附固定在载物罩的顶端，以便于打磨盘对主基板的上表面进行全面打磨，省去了二次打磨的繁琐，提高了主基板的打磨质量。

于大明 姜珂 赵立军

深圳市华芯技研科技有限公司

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本发明公开了一种主基板用表面精整制造打磨装置，包括操作台、驱动电机和打磨盘，驱动电机设置于操作台的上方，操作台的顶端设有位置调整机构，操作台顶端的中部固定连接有载物罩，操作台底端的一侧固定连接有抽气泵，抽气泵通过抽气管与载物罩的内腔连通，抽气管的一端固定连接有密封管头，且密封管头与载物罩内腔的底端固定连接。
本发明利用抽气泵和抽气管将载物罩内的空气抽出，使载物罩内形成负压，从而将主基板吸附固定在载物罩的顶端，以便于打磨盘对主基板的上表面进行全面打磨，省去了二次打磨的繁琐，提高了主基板的打磨质量。