本发明属于机械加工技术领域,尤其涉及一种石英谐振子超精密加工方法及装置。
首先采用普通成型方法加工出石英谐振子的外表面,然后使用专用砂轮进行粗磨、半精磨、化学机械抛光,结合先进的在线测量技术,对抛光后的表面进行检测,对超出允差范围的点位进行修抛至满足要求;采用专用夹具固定加工好的外表面,再对谐振子内表面进行成型磨削化学机械抛光及检测加工。
本发明的专用夹具与砂轮的特点为中空伞状,砂轮磨削部分与被加工面形状一致,加工过程设防护装置及抛光液回收装置,可保证加工过程绿色环保,此外,本发明提供的加工方法和装置,具有加工效率高,加工同轴度好,加工表面损伤层低等优点。
张振宇 廖龙兴 刘杰 谢文祥
大连理工大学
116024 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
本发明属于机械加工技术领域,尤其涉及一种石英谐振子超精密加工方法及装置。
首先采用普通成型方法加工出石英谐振子的外表面,然后使用专用砂轮进行粗磨、半精磨、化学机械抛光,结合先进的在线测量技术,对抛光后的表面进行检测,对超出允差范围的点位进行修抛至满足要求;采用专用夹具固定加工好的外表面,再对谐振子内表面进行成型磨削化学机械抛光及检测加工。
本发明的专用夹具与砂轮的特点为中空伞状,砂轮磨削部分与被加工面形状一致,加工过程设防护装置及抛光液回收装置,可保证加工过程绿色环保,此外,本发明提供的加工方法和装置,具有加工效率高,加工同轴度好,加工表面损伤层低等优点。