提出了一种抛光工具和用于利用对应的抛光工具对工件进行抛光的装置,该抛光工具具有弹性中间层,该弹性中间层具有硬度不同的两个部分/部件,中间层的靠近加工表面的部分/部件比远离加工表面的部分/部件软。
纳迪娜·盖斯特 汉斯-约阿希姆·林克
施耐德两合公司
德国弗龙豪森