本发明公开了一种渗硅工装，用于装载碳制工件并进行液相渗硅生产，所述渗硅工装包括容器主体、支撑件和容器盖体，所述容器主体上设有凹腔；所述支撑件放置于所述凹腔内以用于支撑所述碳制工件，且所述支撑件上设有用于容置硅粉的容置结构；所述容器盖体盖合于所述容器主体上以用于密封所述凹腔。
本发明实施例通过在容器主体上开设凹腔，且在凹腔内放置具有用于容置硅粉的容置结构的支撑件，使得将碳制工件放于支撑件上，再盖上容器盖体，即可进行渗硅工艺，支撑件与碳制工件紧抵，实现良好的渗硅效果，支撑件的支撑功能与容置功能合二为一，且反应后无残余硅渣粘结，方便清理，同时能渗硅均匀减少偏重。

刘军 孙伟华

深圳勒迈科技有限公司

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本发明公开了一种渗硅工装，用于装载碳制工件并进行液相渗硅生产，所述渗硅工装包括容器主体、支撑件和容器盖体，所述容器主体上设有凹腔；所述支撑件放置于所述凹腔内以用于支撑所述碳制工件，且所述支撑件上设有用于容置硅粉的容置结构；所述容器盖体盖合于所述容器主体上以用于密封所述凹腔。
本发明实施例通过在容器主体上开设凹腔，且在凹腔内放置具有用于容置硅粉的容置结构的支撑件，使得将碳制工件放于支撑件上，再盖上容器盖体，即可进行渗硅工艺，支撑件与碳制工件紧抵，实现良好的渗硅效果，支撑件的支撑功能与容置功能合二为一，且反应后无残余硅渣粘结，方便清理，同时能渗硅均匀减少偏重。