一种基于大面积修复薄膜转移‑加热治愈的微纳米褶皱祛除方法，利用晶圆级修复层薄膜湿法转移技术，将锗层/石墨烯上旋涂得到的均匀大面积PMMA薄膜修复层准确、无损地转移到已有褶皱图案含蒽共聚物‑PDMS双层结构上表面，再结合多步低温加热平坦化工艺充分去除湿法转移过程中在含蒽共聚物‑石墨烯/PMMA‑PDMS多层系统的界面处引入的残余液体和空气，使转移的修复层薄膜良好地贴合在已有褶皱表面，并利用不同表面层的褶皱触发临界应变条件不同，进而达到治愈已有褶皱的效果。
本发明保证修复层薄膜厚度均匀性且尺度在晶圆级；通过多步低温加热平坦化工艺可以保证充分共型接触和界面结合强度，保证很好的祛皱效果，适用于解决人体皮肤祛皱、扫描电子显微镜表征过程褶皱失真问题和航空航天领域的大型薄膜褶皱消除技术。

胡开明 张文明 李修远 辛宜航 白欣茹

上海交通大学

200240 上海市闵行区东川路800号

一种基于大面积修复薄膜转移‑加热治愈的微纳米褶皱祛除方法，利用晶圆级修复层薄膜湿法转移技术，将锗层/石墨烯上旋涂得到的均匀大面积PMMA薄膜修复层准确、无损地转移到已有褶皱图案含蒽共聚物‑PDMS双层结构上表面，再结合多步低温加热平坦化工艺充分去除湿法转移过程中在含蒽共聚物‑石墨烯/PMMA‑PDMS多层系统的界面处引入的残余液体和空气，使转移的修复层薄膜良好地贴合在已有褶皱表面，并利用不同表面层的褶皱触发临界应变条件不同，进而达到治愈已有褶皱的效果。
本发明保证修复层薄膜厚度均匀性且尺度在晶圆级；通过多步低温加热平坦化工艺可以保证充分共型接触和界面结合强度，保证很好的祛皱效果，适用于解决人体皮肤祛皱、扫描电子显微镜表征过程褶皱失真问题和航空航天领域的大型薄膜褶皱消除技术。