本发明提供一种抑制翘曲并可容易且简单地进行树脂基材的分离的聚酰亚胺层叠体及其制造方法。
所述聚酰亚胺层叠体，其为在热膨胀系数为1～10ppm/K的支撑体上以第1聚酰亚胺层与第2聚酰亚胺层的顺序具备多个聚酰亚胺层的层叠体。
第1聚酰亚胺层的膜厚为1～50μm，热膨胀系数为支撑体的热膨胀系数以上且为5～30ppm/K，玻璃化温度为300℃以上。
第2聚酰亚胺层的膜厚为5～30μm，热膨胀系数为第1聚酰亚胺层的热膨胀系数以上。
第1聚酰亚胺层与第2聚酰亚胺层能够在其界面进行剥离。
所述聚酰亚胺层叠体的制造方法，其是依次涂布聚酰亚胺或聚酰亚胺前体的树脂溶液并加以干燥，进行加热处理而形成所述的各聚酰亚胺层。

王宏远 藤元伸悦 平石克文 山田裕明

日铁化学材料株式会社

日本东京千代田区外神田四丁目14番1号

本发明提供一种抑制翘曲并可容易且简单地进行树脂基材的分离的聚酰亚胺层叠体及其制造方法。
所述聚酰亚胺层叠体，其为在热膨胀系数为1～10ppm/K的支撑体上以第1聚酰亚胺层与第2聚酰亚胺层的顺序具备多个聚酰亚胺层的层叠体。
第1聚酰亚胺层的膜厚为1～50μm，热膨胀系数为支撑体的热膨胀系数以上且为5～30ppm/K，玻璃化温度为300℃以上。
第2聚酰亚胺层的膜厚为5～30μm，热膨胀系数为第1聚酰亚胺层的热膨胀系数以上。
第1聚酰亚胺层与第2聚酰亚胺层能够在其界面进行剥离。
所述聚酰亚胺层叠体的制造方法，其是依次涂布聚酰亚胺或聚酰亚胺前体的树脂溶液并加以干燥，进行加热处理而形成所述的各聚酰亚胺层。