公开了一种自动化沉积工艺。
本发明实施例一般提供在衬底上丝网印刷图案的装置与方法。
在一实施例中，图案化层连同多个对准标记被印刷至衬底的表面上。
测量这些对准标记相对于衬底的特征结构的位置，以判定图案化层的实际位置。
将实际位置与预期位置作比较以判定图案化层在衬底上的安置的位置误差。
使用此信息来调整图案化层在后续多个经处理衬底上的安置。

A·巴希尼 M·佳利亚佐

应用材料公司

美国加利福尼亚州

公开了一种自动化沉积工艺。
本发明实施例一般提供在衬底上丝网印刷图案的装置与方法。
在一实施例中，图案化层连同多个对准标记被印刷至衬底的表面上。
测量这些对准标记相对于衬底的特征结构的位置，以判定图案化层的实际位置。
将实际位置与预期位置作比较以判定图案化层在衬底上的安置的位置误差。
使用此信息来调整图案化层在后续多个经处理衬底上的安置。