本发明提供一种液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质,在对工件排出功能液的液滴进行描绘的液滴排出装置中,适当修正工件台相对于液滴排出头的相对位置。
液滴排出装置包括:载置工件(W)的工件台(20);向载置在工件台(20)的工件(W)排出液滴的液滴排出头(34);使工件台(20)在主扫描方向移动的Y轴线性电动机(13);控制部(150),一边使工件台(20)沿扫描线移动一边检测载置在工件台(20)的工件W的位置,使用该检测结果生成表示Y轴线性电动机(13)的位置与工件台(20)的位置的修正量的相关关系的修正表。
上述扫描线是以在主扫描方向上延伸且在副扫描方向上排列多个的方式设置的。
宫崎一仁 柿野彰 吉富济
东京毅力科创株式会社
日本东京
本发明提供一种液滴排出装置、液滴排出方法、程序和计算机存储介质,在对工件排出功能液的液滴进行描绘的液滴排出装置中,适当修正工件台相对于液滴排出头的相对位置。
液滴排出装置包括:载置工件(W)的工件台(20);向载置在工件台(20)的工件(W)排出液滴的液滴排出头(34);使工件台(20)在主扫描方向移动的Y轴线性电动机(13);控制部(150),一边使工件台(20)沿扫描线移动一边检测载置在工件台(20)的工件W的位置,使用该检测结果生成表示Y轴线性电动机(13)的位置与工件台(20)的位置的修正量的相关关系的修正表。
上述扫描线是以在主扫描方向上延伸且在副扫描方向上排列多个的方式设置的。