本发明提供一种液体喷射头、液体喷射装置及其制造方法，其能够抑制或避免随着配线基板向流道形成基板的安装而引起的流道形状的变形。
安装有具有多个喷嘴的喷嘴板的流道形成基板具有：被共用于向喷嘴的液体供给的共用供给通道、从共用供给通道分支而到达每个喷嘴的压力室的独立供给通道、包括对喷嘴与压力室进行连通的每个喷嘴的连通流道的独立回收通道、多个独立回收通道合流而被共用于从喷嘴的液体回收的共用回收通道。
在从喷嘴板与流道形成基板的层压方向进行俯视观察时，经由引线电极而与使压力室的压力发生变化的压力产生部电连接的通电部处于，与独立供给通道或独立回收通道的至少一方的独立流道的流道区域重叠的位置。

福泽祐马 高部本规 渡边峻介 宫岸晓良 福田俊也 佐野纯一

精工爱普生株式会社

日本东京

本发明提供一种液体喷射头、液体喷射装置及其制造方法，其能够抑制或避免随着配线基板向流道形成基板的安装而引起的流道形状的变形。
安装有具有多个喷嘴的喷嘴板的流道形成基板具有：被共用于向喷嘴的液体供给的共用供给通道、从共用供给通道分支而到达每个喷嘴的压力室的独立供给通道、包括对喷嘴与压力室进行连通的每个喷嘴的连通流道的独立回收通道、多个独立回收通道合流而被共用于从喷嘴的液体回收的共用回收通道。
在从喷嘴板与流道形成基板的层压方向进行俯视观察时，经由引线电极而与使压力室的压力发生变化的压力产生部电连接的通电部处于，与独立供给通道或独立回收通道的至少一方的独立流道的流道区域重叠的位置。