本发明基于线传感器对检查排出的功能液的液滴的拍摄结果适当修正功能液的液滴的排出条件。
液滴排出装置(1)用于使搭载有工件(W)的工件台(40)相对于液滴排出喷嘴在主扫描方向上移动，从液滴排出喷嘴将功能液的液滴排出到工件(W)上进行描绘，其包括线传感器，在工件(W)上预先形成有规定大小的标记，从液滴排出喷嘴将液滴检查排出到工件台(40)上的工件(W)，由线传感器(31)进行工件(W)上的被检查排出的液滴和上述标记的拍摄，基于所拍摄的标记在所述主扫描方向上的长度，修正上述液滴的拍摄结果，基于该修正后的液滴的拍摄结果修正来自液滴排出喷嘴的排出条件。

林辉幸 大岛澄美 岛村明典

东京毅力科创株式会社

日本东京都

本发明基于线传感器对检查排出的功能液的液滴的拍摄结果适当修正功能液的液滴的排出条件。
液滴排出装置(1)用于使搭载有工件(W)的工件台(40)相对于液滴排出喷嘴在主扫描方向上移动，从液滴排出喷嘴将功能液的液滴排出到工件(W)上进行描绘，其包括线传感器，在工件(W)上预先形成有规定大小的标记，从液滴排出喷嘴将液滴检查排出到工件台(40)上的工件(W)，由线传感器(31)进行工件(W)上的被检查排出的液滴和上述标记的拍摄，基于所拍摄的标记在所述主扫描方向上的长度，修正上述液滴的拍摄结果，基于该修正后的液滴的拍摄结果修正来自液滴排出喷嘴的排出条件。