防止喷嘴基板的射出面侧的拒液性降低。
喷墨记录装置的喷墨头具备喷嘴基板(40A)。
喷嘴基板(40A)具有:基板部(41),形成有射出墨的喷嘴(2411);拒液膜基底层(42A),形成于基板部(41)的射出面侧,至少在表面具有硅氮化膜或者硅氧氮化膜;以及拒液膜(43),形成于拒液膜基底层(42A)的射出面侧。
佐藤洋平 下村明久 铃木绫子 江口秀幸 山田晃久
柯尼卡美能达株式会社
日本东京
防止喷嘴基板的射出面侧的拒液性降低。
喷墨记录装置的喷墨头具备喷嘴基板(40A)。
喷嘴基板(40A)具有:基板部(41),形成有射出墨的喷嘴(2411);拒液膜基底层(42A),形成于基板部(41)的射出面侧,至少在表面具有硅氮化膜或者硅氧氮化膜;以及拒液膜(43),形成于拒液膜基底层(42A)的射出面侧。